电子行业在生产过程中产生的废气不仅难闻，还含有很多有害气体成分，电子行业废气一般分为酸性排气、碱性排气、有机废气、和一般排气等。如果不经过废气处理达标排放，就会对工厂工人以及工厂附近的居民的身体健康造成危害，对大气环境造成污染。现在国家对电子行业废气排放越来越重视，工厂企业只要对生产产生的废气进行废气处理，处理后的废气排放达到国家的排放标准，才可进行正常生产运行。

电子行业产生的废气具有排风量大、浓度低的特点。针对电子行业的废气排放特点，采用相应的废气末端治理技术，主要还是吸附法或焚烧法。

吸附法,废气处理设备是活性炭吸附脱附+催化燃烧CO设备，活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物有较强的吸附能力，一般可净化低浓度VOCs；

燃烧法，废气处理设备是沸石转轮+蓄热式焚烧炉RTO设备，由废气旋转轮的上游侧进入浓缩转轮的吸附区，使VOCs得到浓缩，在经脱附燃烧处理。